マイクログラナイト・ウエハーコム300は大口径ウエハ基板
対応の多機能な検査装置です。
本システムは測定スポットの小さい半導体レーザを使用した非接触式測定器です。
Y軸及び回転軸にはウエハ測定に適したグラナイト（黒御影石）製エアースライド／
エアーターンテーブルを採用し、水平等速運動するウエハの上下を２基の高分解能0.005ミクロン、微小スポット径10ミクロンの半導体レーザを搭載した
Y軸が半径方向に直線移動しながらデータをサンプリングし、１スキャンで計測が終了します。
Y軸移動測定のみの場合は、クロスセクション断面を微細サンプリングにてより正確な断面形状、さらにエッジ部の局部形状評価も行えます。
マイクログラナイト・BG measureは、ウエハを定盤の上に固定して片面（上面）から赤外線を照射して表面反射と裏面の内側面の反射光の変位差を測定して厚みを測定するシステ ムです。測定対象物を定盤上に固定する為薄いウエハでも測定が可能です。
マイクログラナイト・TORIN２０２１は第1１世代のフォ
トマスクの表面形状、裏面形状、厚さばらつきを容易に測定できる非接触式の測定装置です。
オプション対応として、そりの大きなPDP Glassの測定も可能です。
対向させたグラナイト（黒御影石）製エアースライドに一基づつレーザを搭載し測定対象Panelを挟むかたちで測定します。振動による影響を避ける為、駆
動にはリニアモータを採用しています。