半導体・液晶製造装置、検査装置など様々な装置のベースを製作しております。
穴の形状・金属ブッシュ(メスネジ)サイズ等お客様のご要望にお応えします。 詳細については
お問い合わせ下さい。
サイズ mm | 重量 kg | 真直度 μm |
400×75×75 | 6.8 | 0.6 |
650×75×75 | 11 | 0.9 |
1000×100×150 | 45 | 1.5 |
?@ 75mm×75mm 石製パラレルブロック............4ケ組同一寸法
厚み 20mm、30mm、40mm、50mm (±0.002mm)
各単体 平面平行1μm以内
?A 75mm×75mm 石製パラレルブロック............4種類一組
50mm±0.002mm
40mm±0.002mm
30mm±0.002mm
20mm±0.002mm
各単体 平面平行1μm以内
簡単な高さ基準器、検査用平行治具として最適です。