| 基準ベース、
レール上を極めて薄い空気の膜で浮上させ移動する装置です。 エアーベアリングとも呼ばれています。 |
| 基
準ベースやレールと非接触の為、通常のリニアガイド等の使用時に発生する微細な振動、ゴトゴト音が無く、転がり抵抗、摩擦抵抗も発生しないので運動 エネルギーの損失によるストレスがありません。 |
| 当社のエアースライドは特殊な形状をした「スライダー一体型の
エアーパット」 を採用しています。 |
| 定盤、レールに微細なうねりがあっても、特殊な形状をしたスラ
イダーを搭載している為精度に対する影響は極めて小さくなり、ピッチング、ヨーイングの性能が 特に優れています。 |
| また、ラッピング加工の専門企業として培ったノウハウを各部品
にフィードバックさせる事により、従来の製品の限界性能をはるかに凌駕する高いポテンシャルを 実現しています。 |
| 超高精度の位置決めステージ、等速モーションステージ等に最適 です。 |
| ※
当社のエアースライドは、ベース・レール・スライダー等に通常の温度変化、 経年変化による精度 の狂いが極めて少ない高剛性のインド産石材で製作 しております。 |
製作ストローク 10mmから3600mm
精度 0.01μm／100ｍｍ～3μｍ／3600mm
エアスライドのタイプ
・特殊エアスライド
・一軸型エアスライド
・ＸＹ型エアスライド
・回転型エアスライド
・門型エアスライド